技術資料 ／ FAQ
その他
ハードコンタクト（バキュームコンタクト）は出来ますか？
当社のハードコンタクトは基板裏面よりN2を吹き上げてN2の圧力によりマスクにより密着させ露光解像度を上げる方式です。
Tags: マスクアライナー
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当社のハードコンタクトは基板裏面よりN2を吹き上げてN2の圧力によりマスクにより密着させ露光解像度を上げる方式です。
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