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技術資料　／　FAQ

UV光源

御社のマスクアライナーの主な紫外線波長領域は？

405㎚を中心に設計しております。ブロードバンドの436nm(g線)、405nm(h線)、365nm(i線)に強い波長スペクトルの分布を持っております。

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