技術資料 / FAQ

基板

マスクアライナーの使用可能な基板サイズは?

各機種の対応可能基板サイズ、厚みのMAXサイズは以下の通りです。

MA-20MAXφ4インチt=2㎜
MA-10BMAXφ4インチt=2㎜
MA-60FMAXφ6インチt=2㎜
M-1SMAXφ3インチt=2㎜
M-2LFMAX6インチt=2㎜

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