技術資料 ／ FAQ
技術資料 ／ FAQ
マスクアライナーで必要になるユーティリティは何ですか？
電源はAC100V 20A マスク、基板固定用に真空が-0.08Mpa必要です。また、MA-10、MA-20、MA-60Fは顕微鏡、マスクステージ駆動に空圧0.5Mpa、N2ブローアップ用にN2 0.5Mpaが必要です。
Tags: マスクアライナー
 |
 |
 |
 |
 |
|
 |
|||
|
|||||||||
マスクアライナーで必要になるユーティリティは何ですか？ | ミカサ・マスクアライナー.com ミカサ・マスクアライナー.com
電源はAC100V 20A マスク、基板固定用に真空が-0.08Mpa必要です。また、MA-10、MA-20、MA-60Fは顕微鏡、マスクステージ駆動に空圧0.5Mpa、N2ブローアップ用にN2 0.5Mpaが必要です。
Tags: マスクアライナー
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|||||||||
