エッチング装置で使用する薬液の使用量を極力節約したいのですが? | エッチング装置のフォトリソグラフィ.com
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パドル現像という方式がございます。基板上に表面張力で薬液を載せる方式です。スプレー現像と比べ薬液使用量が約1/10に抑えることが可能です。
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