エッチング装置で、1回の処理に使用する薬液量はどれ位になりますか? | エッチング装置のフォトリソグラフィ.com
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目安になりますが、吐出圧力を0.15MPaに設定して1分間吐出した場合、吐出量は約180~190㏄です。
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