技術資料 / FAQ
測定について
膜厚計で多層膜の測定が出来ますか。
可能です。 測定には、各層の各々の膜材質及び基板の、屈折率n 減衰係数kが必要となります。
n/k値が分からない場合は、各々の単膜のサンプルを測定し、n/k値のデーターを確認後測定となります。
尚、各々の膜厚が大きく異なる場合(例 膜厚1μmと100μm)は、お問合わせください。
膜厚計で多層膜の測定が出来ますか。 | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
可能です。 測定には、各層の各々の膜材質及び基板の、屈折率n 減衰係数kが必要となります。
n/k値が分からない場合は、各々の単膜のサンプルを測定し、n/k値のデーターを確認後測定となります。
尚、各々の膜厚が大きく異なる場合(例 膜厚1μmと100μm)は、お問合わせください。