膜厚計の測定スポットの径は？ | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
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【OPTM series】
対物レンズの倍率により変わります。
反射型対物：10倍／φ20μm、20倍／φ10μm、10倍／φ5μm
可視屈折型対物レンズ：5倍／φ40μm
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