膜厚計でレジストが、感光しないように測定できますか? | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
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光源に、オプションのハイパスフィルターを挿入する事により対応できます。 その際、UV波長帯での測定となる、薄い膜厚は測定できません。
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