技術資料 / FAQ
お客様から寄せられる、よくあるご質問を掲載しております。
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製品: 光干渉式膜厚計
測定について
- 膜厚計で透明ではない膜の測定はできますか?
- 膜厚計で表面が鏡面でない基板上の膜の膜厚測定はできますか?
- 膜厚計でSOIウエハの活性層、BOX層の厚み測定はできますか?
- 膜厚計でシリコンウエハの厚み測定はできますか?
- 膜厚計でフイルムの厚み測定はできますか?
- 手動でφ12インチウエハの膜厚測定ができますか。
- 膜厚計でレンズのコーティングの膜厚測定はできますか?
- 膜厚計で円筒形の表面の膜厚を測定することはできますか?
- 膜厚計で凹凸基板表面の膜厚測定ができますか?
- 膜厚計で多層膜の測定が出来ますか。
- 膜厚計の中で、薄い膜(数十nm以下)の膜厚測定に適した機種はありますか?
- 膜厚計の中で、厚い膜(100μm以上)に適した機種はありますか?
- 膜厚計の測定時間はどの位ですか?
- 膜厚計の測定スポットの径は?
- 膜厚計でタック性(粘着性)のある膜の測定ができますか?
- 膜厚計でレジストが、感光しないように測定できますか?
- 膜表面に接触しますか?