自動測定の膜厚計に、安全カバーはありますか? | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
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【OPTM series】
安全カバーはございませんが、正面測定部にエリアセンサーがございまして、動作中にセンサーが感知すると動作停止いたします。
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