膜厚計でマッピング測定可能なサンプルサイズは? | 光干渉式膜厚計のフォトリソグラフィ.com
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【OPTM series】
標準の仕様では200×200㎜、t=17㎜まで測定が可能です。φ300㎜ウエハの場合はご相談ください。
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