触針(スタイラス)にサンプルをぶつけて、破損してしまった。対処方法は? | 段差計のフォトリソグラフィ.com
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触針の交換となります。交換後、標準片を測定し、精度確認を行ないます。異常があった場合は、検出器の損傷が考えられます。
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