技術資料 / FAQ
測定について
差動トランス(直動式)検出器とは、どの様なものですか?
特徴
直動式は、レバー式特有の円弧誤差及び支点の隙間による測定誤差がない為、
正確な測定ができます。
可動部の質量が軽い為、測定系の変形がすくない。
触針と差動トランスの間の剛性が高い為、
形状に依存しない正確な測定が可能となります。
差動トランス(直動式)検出器とは、どの様なものですか? | 段差計のフォトリソグラフィ.com
特徴
直動式は、レバー式特有の円弧誤差及び支点の隙間による測定誤差がない為、
正確な測定ができます。
可動部の質量が軽い為、測定系の変形がすくない。
触針と差動トランスの間の剛性が高い為、
形状に依存しない正確な測定が可能となります。