技術資料 / FAQ
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どれくらいの期間で定期メンテナンスは必要ですか?
お客様の使用頻度により推奨メンテナンス時期は異なります。毎日少量生産などで使用されているのであれば、年に1回のメンテナンスをお勧めしております。研究・開発であれば毎日使用されておられても3年~5年位を目途にメンテナンスをお勧めしております。
どれくらいの期間で定期メンテナンスは必要ですか? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
お客様の使用頻度により推奨メンテナンス時期は異なります。毎日少量生産などで使用されているのであれば、年に1回のメンテナンスをお勧めしております。研究・開発であれば毎日使用されておられても3年~5年位を目途にメンテナンスをお勧めしております。