技術資料 / FAQ
温度管理
現像処理時の吐出時薬液温度変化はありますか?
若干ございます。温調ユニット内に留まっている薬液と実際に吐出される薬液では若干の温度変化がございます。処理状況に応じて温度変化を見越した温度設定をお願いしております。
現像処理時の吐出時薬液温度変化はありますか? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
若干ございます。温調ユニット内に留まっている薬液と実際に吐出される薬液では若干の温度変化がございます。処理状況に応じて温度変化を見越した温度設定をお願いしております。