現像装置で薬液の温度管理は可能ですか? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
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可能です。オプションで温調ユニットを取り付ける事で温度管理をしております。間接温度制御方式を採用しております。30℃以下もしくは30℃~60℃の温度に設定ができます。
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