現像装置からの薬液の吐出はどのようなノズルですか? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
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1流体のスプレーノズルです。扇状に吐出いたします。用途によって円錐状に吐出するスプレーノズルや低圧ノズル、パドル用のストレートノズルなど交換が可能です。
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