現像装置では薬液(現像液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
ホーム > 技術資料 ／ FAQ > 製品： 現像装置 > 薬液 > 現像装置では薬液(現像液/リンス液)は最大何系統まで対応可能ですか?
AD-1200で最大4系統(3薬液1リンスなど)、AD-3000で最大6系統(5薬液1リンスなど)まで対応可能です。
» 技術資料 ／ FAQ 一覧へ戻る
