技術資料 / FAQ
基板
大きさの異なる基板を使用するのですが、現像装置のホルダーは兼用可能ですか?
可能です。基本的にφ4インチ、φ5インチ、φ6インチなど兼用可能です。基板サイズの差が大きい場合(10㎜と100㎜)は小さい基板用にホルダーへアダプタを取り付けて対応することができます。
大きさの異なる基板を使用するのですが、現像装置のホルダーは兼用可能ですか? | 現像装置のフォトリソグラフィ.com
可能です。基本的にφ4インチ、φ5インチ、φ6インチなど兼用可能です。基板サイズの差が大きい場合(10㎜と100㎜)は小さい基板用にホルダーへアダプタを取り付けて対応することができます。