技術資料 ／ FAQ
技術資料（SEM画像）
マスクアライナーSEM画像 MA-20
【薄膜L＆S】 | 【厚膜角ホール】 | 【厚膜円柱】 | |||||||||||||||||||||||||||||
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【SU-8 膜厚20um 時の各ギャップでのLine ＆ Spaceの解像限界(倍率:Ｘ2,000)】
ギャップを、0 (＝コンタクト), 10, 20, 30, 50, 100umに設定した時のSU-8（膜厚：20μm）の解像性能になります。各Line & Spaceで、どのギャップ値まで解像されるかをまとめると、次のようになります。
| ＜Line ＆ Space＞ | ＜解像限界となるギャップ値＞ |
| 25um | 100um以内 |
| 10um | 50um以内 |
| 8um | 50um以内 |
| 7um | 30um以内 |
| 6um | 20um以内 |
| 3um、5um | コンタクトでも解像されず |
