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その他

ハードコンタクト（バキュームコンタクト）は出来ますか？

当社のハードコンタクトは基板裏面よりN2を吹き上げてN2の圧力によりマスクにより密着させ露光解像度を上げる方式です。

タグ: マスクアライナー

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