御社のスピンコーターの膜厚対応範囲を教えてください | スピンコーターのフォトリソグラフィ.com
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装置自体は回転時間と回転数を制御するもので、
薄膜(数十nm)から厚膜(数百μm)までを想定しております。
塗布液の粘度にも依存します。
詳しくはお問い合わせください。
タグ: スピンコーター, スピンコート
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