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技術資料 / FAQ

修理

スピンコーターの電源をONにしても初期動作(1回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。

内部のモーターシャフト部に塗布液が付着して、それが抵抗となって初期動作が出来ないためのエラーとなっている可能性がございます。最終的な解決方法はモーターの交換となります。

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