スピンコーターの電源をONにしても初期動作(1回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。 | スピンコーターのフォトリソグラフィ.com
ホーム > 技術資料 / FAQ > 製品: スピンコーター > 修理 > スピンコーターの電源をONにしても初期動作(1回転)せず、ビービーとエラー音が鳴って動作させることができません。
内部のモーターシャフト部に塗布液が付着して、それが抵抗となって初期動作が出来ないためのエラーとなっている可能性がございます。最終的な解決方法はモーターの交換となります。
タグ: スピンコーター, スピンコート
» 技術資料 / FAQ 一覧へ戻る