技術資料 ／ FAQ
修理
スピンコーターの回転などの表示部に【Oerr】とエラーメッセージが表示されます。どのようなエラーでしょうか？
【Oerr】は、オーバーヒートエラーです。モーターの発熱により電装系内の温度が上昇したためにエラーが発生しております。装置安全を考慮したエラー動作でございます。しばらく時間を置いて、電装系内の温度が下がれば再使用が可能でございます。
【Oerr 表示画面】
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