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ユーティリティ

真空ポンプは必要ですが、工場の真空ラインから接続が可能な場合は、真空ポンプを使用しなくても大丈夫です。また、メカニカルチャック式の場合は必要ありませんが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。詳しくはお問い合わせ下さい。