フォトレジスト（resist）

スピンコーター成膜データ　MS-B100　（レジスト：OFPR-800LB）

膜厚測定装置 FILMETRICS製F50 レジスト OFPR-800LB(東京応化社製) 基板サイズ Φ4インチシリコンウエハ ターゲット膜厚 1μm 膜厚分布 ±0.8％

 

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Tags:スピンコーター, スピンコート, OFPR-800LB, フォトレジスト（resist）
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