產品介紹
顯影刻蝕装置
緊湊型光刻顯影設備 / AD-1200
產品特點
- ■ 能夠使用擺動噴嘴進行水坑顯影和噴霧顯影。
- ■ 接觸液體的部件由不銹鋼製成,以防止化學品腐蝕。
- ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
- ■ 最大可以擴張到3藥液
- ■ 連續處理藥液、清洗、甩乾
- ■ 內建藥液壓送幫浦
產品規格
室 | 由不銹鋼製成 |
---|---|
基材尺寸 | φ1~6 inch (150×150mm) |
化學液體噴射 | 由內置泵泵送 |
化學液體噴射 | 噴出 (通過擺動噴嘴) |
步數 | 96步 (帶跳過和復制功能) |
程序模式數量 | 10種模式 |
流程 (標準) | 化學溶液:一條線 沖洗:一條線 背面沖洗:一條線 |
使用的顯影劑 | 鹼性顯影劑 |
轉速 (rpm) | 0~3,000 |
聯鎖裝置 | 真空吸力檢查傳感器 處理室蓋聯鎖 噴嘴超限限制器 |
電源 | AC100V 4A |
尺寸 (單位:毫米,門打開時) | 550W× 440H(740H)×400D |
重量 | 33 kg |
主要選項 | 顯影劑熱管理系統(加壓模式) 基材支架 放置產品的工作台 |
注:規格如有更改,恕不另行通知。
噴霧顯影和浸漬顯影的比較圖像
主要設備及材料 | |
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光刻劑 | AZ P4620 |
化學溶液 | AZ 400K |
使用旋轉塗佈機 | MS-B150 |
使用對準曝光機 | MA-20 |
使用顯影装置 | AD-1200 |
工藝條件 | |
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基質 | φ4inch矽片 |
抗蝕劑塗覆前的預處理 | HMDS |
塗層厚度 | >6μm |
預烘烤 | 100℃, 90 sec |
噴霧顯影時間 | 60 sec |
注:規格如有更改,恕不另行通知。
光刻顯影設備 / AD-3000
產品特點
- ■ 雙擺動噴嘴噴霧適用於大型基材。
- ■ 接觸液體的部件由不銹鋼製成,以防止化學品腐蝕。
- ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
- ■ 最大可以擴張到3藥液
- ■ 連續處理藥液、清洗、甩乾
- ■ 顯影劑從壓力罐中泵出。
產品規格
室 | 由不銹鋼製成 |
---|---|
基材尺寸 | φ1~12 inch (220×220mm) |
化學溶液的泵送 | 顯影劑從壓力罐中泵出 |
化學液體噴射 | 噴出 (通過擺動噴嘴) |
步數 | 48步 (帶跳過和復制功能) |
程序模式數量 | 10種模式 |
流程 (標準) | 化學溶液:二條線 沖洗:二條線 背面沖洗:一條線 |
使用的顯影劑 | 鹼性顯影劑 |
轉速 (rpm) | 0~3,000 |
聯鎖裝置 | 真空吸力檢查傳感器 處理室蓋聯鎖 噴嘴超限限制器 |
電源 | AC200V 三相 15A |
公用設備 | N2:0.6MPa |
尺寸 (單位:毫米,門打開時) | 720 W × 500 H (910 H) × 520D |
重量 | 60 kg |
主要選項 | 顯影劑熱管理系統(加壓模式) 基材支架 放置產品的工作台 |
注:規格如有更改,恕不另行通知。
用於光刻的緊湊型蝕刻設備 / ED-1200
產品特點
- ■ 帶有擺動噴嘴的噴射蝕刻設備。
- ■ 考量到耐藥性,接液部使用PVC材質
- ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
- ■ 最大可以擴張到3藥液
- ■ 連續處理刻蝕、清洗、甩乾
- ■ 內建藥液壓送幫浦
產品規格
室 | 由聚氯乙烯 (PVC) 製成 |
---|---|
Substrate size | φ1~6 inch (150×150mm) |
化學溶液的泵送 | 由內置泵泵送 |
化學液體噴射 | 噴出 (通過擺動噴嘴) |
步數 | 96步 (帶跳過和復制功能) |
程序模式數量 | 10種模式 |
流程 (標準) | 化學溶液:一條線 沖洗:一條線 背面沖洗:一條線 |
使用蝕刻劑 | 酸性蝕刻劑 |
轉速 (rpm) | 0~3,000 |
聯鎖裝置 | 真空吸力檢查傳感器 處理室蓋聯鎖 噴嘴超限限制器 |
電源 | AC100V 4A |
尺寸 (單位:毫米,門打開時) | 550 W × 440 H (740 H) × 400 D |
重量 | 33 kg |
主要選項 | 蝕刻劑溫控系統 (加壓模式) 基材支架 放置產品的工作台 聚四氟乙烯 (PTFE) 室 |
注:規格如有更改,恕不另行通知。
光刻蝕刻設備 / ED-3000
產品特點
- ■ 雙擺動噴嘴噴霧適用於大型基材。
- ■ 考量到耐藥性,接液部使用PVC材質
- ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
- ■ 最大可以擴張到3藥液
- ■ 連續處理刻蝕、清洗、甩乾
- ■ 蝕刻劑從壓力罐中泵出
Product Specifications
室 | 由聚氯乙烯 (PVC) 製成 |
---|---|
基材尺寸 | φ1~12 inch (220×220mm) |
化學溶液的泵送 | 由內置泵泵送 |
化學液體噴射 | 噴出 (通過擺動噴嘴) |
步數 | 48步 (帶跳過和復制功能) |
程序模式數量 | 10種模式 |
流程 (標準) | 化學溶液:二條線 沖洗:二條線 背面沖洗:一條線 |
使用的顯影劑 | 酸性蝕刻劑 |
轉速 (rpm) | 0~3,000 |
聯鎖裝置 | 真空吸力檢查傳感器 處理室蓋聯鎖 噴嘴超限限制器 |
電源 | AC200V 三相 15A |
公用設備 | N2:0.6MPa |
尺寸 (單位:毫米,門打開時) | 720 W × 500 H (910 H) × 520D |
重量 | 60 kg |
主要選項 | 蝕刻劑溫控系統 (加壓模式) 基材支架 放置產品的工作台 聚四氟乙烯 (PTFE) 室 |
注:規格如有更改,恕不另行通知。