產品介紹

Photolithography.com 提供用於實驗室應用的旋轉塗佈機、對準曝光機、顯影刻蝕装置設備。

旋轉塗佈機 images 對準曝光機 images 顯影装置 images 刻蝕装置
光刻顯影設備 AD-1200
AD-3000
用於光刻的蝕刻設備 ED-1200
ED-3000

顯影刻蝕装置

緊湊型光刻顯影設備 / AD-1200

AD-1200

產品特點

  • ■ 能夠使用擺動噴嘴進行水坑顯影和噴霧顯影。
  • ■ 接觸液體的部件由不銹鋼製成,以防止化學品腐蝕。
  • ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
  • ■ 最大可以擴張到3藥液
  • ■ 連續處理藥液、清洗、甩乾
  • ■ 內建藥液壓送幫浦

產品規格

由不銹鋼製成
基材尺寸 φ1~6 inch (150×150mm)
化學液體噴射 由內置泵泵送
化學液體噴射 噴出 (通過擺動噴嘴)
步數 96步 (帶跳過和復制功能)
程序模式數量 10種模式
流程 (標準) 化學溶液:一條線
沖洗:一條線
背面沖洗:一條線
使用的顯影劑 鹼性顯影劑
轉速 (rpm) 0~3,000
聯鎖裝置 真空吸力檢查傳感器
處理室蓋聯鎖
噴嘴超限限制器
電源 AC100V 4A
尺寸 (單位:毫米,門打開時) 550W× 440H(740H)×400D
重量 33 kg
主要選項 顯影劑熱管理系統(加壓模式)
基材支架
放置產品的工作台

注:規格如有更改,恕不另行通知。

噴霧顯影和浸漬顯影的比較圖像

Spray, 3 μm
主要設備及材料
光刻劑 AZ P4620
化學溶液 AZ 400K
使用旋轉塗佈機 MS-B150
使用對準曝光機 MA-20
使用顯影装置 AD-1200
Dip, 3 μm
工藝條件
基質 φ4inch矽片
抗蝕劑塗覆前的預處理 HMDS
塗層厚度 >6μm
預烘烤 100℃, 90 sec
噴霧顯影時間 60 sec

注:規格如有更改,恕不另行通知。

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光刻顯影設備 / AD-3000

AD-3000

產品特點

  • ■ 雙擺動噴嘴噴霧適用於大型基材。
  • ■ 接觸液體的部件由不銹鋼製成,以防止化學品腐蝕。
  • ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
  • ■ 最大可以擴張到3藥液
  • ■ 連續處理藥液、清洗、甩乾
  • ■ 顯影劑從壓力罐中泵出。

產品規格

由不銹鋼製成
基材尺寸 φ1~12 inch (220×220mm)
化學溶液的泵送 顯影劑從壓力罐中泵出
化學液體噴射 噴出 (通過擺動噴嘴)
步數 48步 (帶跳過和復制功能)
程序模式數量 10種模式
流程 (標準) 化學溶液:二條線
沖洗:二條線
背面沖洗:一條線
使用的顯影劑 鹼性顯影劑
轉速 (rpm) 0~3,000
聯鎖裝置 真空吸力檢查傳感器
處理室蓋聯鎖
噴嘴超限限制器
電源 AC200V 三相 15A
公用設備 N2:0.6MPa
尺寸 (單位:毫米,門打開時) 720 W × 500 H (910 H) × 520D
重量 60 kg
主要選項 顯影劑熱管理系統(加壓模式)
基材支架
放置產品的工作台

注:規格如有更改,恕不另行通知。

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用於光刻的緊湊型蝕刻設備 / ED-1200

ED-1200

產品特點

  • ■ 帶有擺動噴嘴的噴射蝕刻設備。
  • ■ 考量到耐藥性,接液部使用PVC材質
  • ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
  • ■ 最大可以擴張到3藥液
  • ■ 連續處理刻蝕、清洗、甩乾
  • ■ 內建藥液壓送幫浦

產品規格

由聚氯乙烯 (PVC) 製成
Substrate size φ1~6 inch (150×150mm)
化學溶液的泵送 由內置泵泵送
化學液體噴射 噴出 (通過擺動噴嘴)
步數 96步 (帶跳過和復制功能)
程序模式數量 10種模式
流程 (標準) 化學溶液:一條線
沖洗:一條線
背面沖洗:一條線
使用蝕刻劑 酸性蝕刻劑
轉速 (rpm) 0~3,000
聯鎖裝置 真空吸力檢查傳感器
處理室蓋聯鎖
噴嘴超限限制器
電源 AC100V 4A
尺寸 (單位:毫米,門打開時) 550 W × 440 H (740 H) × 400 D
重量 33 kg
主要選項 蝕刻劑溫控系統 (加壓模式)
基材支架
放置產品的工作台
聚四氟乙烯 (PTFE) 室

注:規格如有更改,恕不另行通知。

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光刻蝕刻設備 / ED-3000

ED-3000

產品特點

  • ■ 雙擺動噴嘴噴霧適用於大型基材。
  • ■ 考量到耐藥性,接液部使用PVC材質
  • ■ 使用LCD 觸摸屏輕鬆編程。
  • ■ 最大可以擴張到3藥液
  • ■ 連續處理刻蝕、清洗、甩乾
  • ■ 蝕刻劑從壓力罐中泵出

Product Specifications

由聚氯乙烯 (PVC) 製成
基材尺寸 φ1~12 inch (220×220mm)
化學溶液的泵送 由內置泵泵送
化學液體噴射 噴出 (通過擺動噴嘴)
步數 48步 (帶跳過和復制功能)
程序模式數量 10種模式
流程 (標準) 化學溶液:二條線
沖洗:二條線
背面沖洗:一條線
使用的顯影劑 酸性蝕刻劑
轉速 (rpm) 0~3,000
聯鎖裝置 真空吸力檢查傳感器
處理室蓋聯鎖
噴嘴超限限制器
電源 AC200V 三相 15A
公用設備 N2:0.6MPa
尺寸 (單位:毫米,門打開時) 720 W × 500 H (910 H) × 520D
重量 60 kg
主要選項 蝕刻劑溫控系統 (加壓模式)
基材支架
放置產品的工作台
聚四氟乙烯 (PTFE) 室

注:規格如有更改,恕不另行通知。

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