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製品案内

検査・測定機 - 非接触膜厚測定機・段差計など

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

非接触膜厚測定機 F20   段差計・プロファイラー ET200
  F40     ET4000A
  F50   微小線幅測定装置 微小線幅測定装置

非接触膜厚測定機 F50

F-20   F-20
  F50-UV F50 F50-NIR F50-EXR
膜厚測定範囲 5nm~40μm 20nm~70μm 100nm~250μm 20nm~250μm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
測定波長範囲 200~1100nm 380~1050nm 950~1700nm 380~1700nm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは2nmのいずれか大きい数値
(1nm) (2nm) (3nm) (2nm)
※Si基板上のSiO2膜サンプルの場合、膜材料その他の条件で異なります。
スポット径 標準φ1.5㎜、オプションファイバー使用時φ100μm
検出器 Siアレイ 980素子 Siアレイ 512素子 InGaAsアレイ 770素子 Siアレイ
512素子 InGaAsアレイ
光源 重水素
ハロゲンランプ
ハロゲンランプ
サンプルサイズ 300mm、200mm、6インチ、4インチ、3インチ、2インチ(選択可能)
測定時間 サンプルサイズ 200mm サンプルサイズ 300mm
5ポイント 5秒 5ポイント 8秒
25ポイント 14秒 25ポイント 21秒
56ポイント 29秒 56ポイント 43秒
※Si基板上のSiO2膜単層を測定した場合
対応コンピューター Microsoft社 Windows8/USBポート
電源 AC100V 3A
本体寸法(mm) 355W×280H×483D(突起部は含みません)
重量 約16㎏

※仕様は予告なく変更することがございます。

<膜厚測定事例>
  ・各種酸化膜
・化合物半導体
・有機膜
・透明膜
・反射防止膜
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