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製品案内

検査・測定機 - 非接触膜厚測定機・段差計など

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

非接触膜厚測定機 F20
F40
F50
  段差計・プロファイラー ET200
ET4000A

非接触膜厚測定機 F40

F-20   F-20
  F40-UV F40-UVX F40 F40-NIR F40-EXR
膜厚測定範囲 対物レンズ
5倍使用時
20nm~20μm 40nm~40μm 20nm~40μm
対物レンズ
10倍使用時
20nm~15μm 40nm~30μm 20nm~30μm
対物レンズ
15倍使用時
4nm~20μm 4nm~40μm 20nm~15μm 40nm~30μm 20nm~30μm
対物レンズ
50倍使用時
20nm~2μm 40nm~4μm 20nm~4μm
対物レンズ
100倍使用時
20nm~1.5μm 40nm~3μm 20nm~3μm
※膜材料、顕微鏡その他の条件により異なります。
分光器波長範囲 200~1100nm 200~1700nm 450~850nm 950~1700nm 400~1700nm
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは以下の数値のいずれか大きい値
(1nm) (1nm) (2nm) (3nm) (2nm)
※5倍の対物レンズを使用した場合。
測定精度
(Precision)
0.1nm 0.07nm 0.1nm 0.2nm 0.1nm
※Si基板上の1000nm厚のSiO2サンプルを、100回連続測定時の平均値を20日に渡って行った結果の標準偏差
最少膜厚値 50nm 50nm 100nm 500nm 100nm
※膜材料、顕微鏡その他の条件により異なります。
サンプルサイズ 使用する顕微鏡に準ずる。
対応コンピューター Microsoft社 Windows8/USBポート
電源 AC100V 1A
本体寸法(mm) 210W×90H×230D(F40のみ、顕微鏡は含みません。)

※仕様は予告なく変更することがございます。

測定スポットサイズ 標準500μm
アパーチュア使用時
スモール250μm
アパーチュア使用時
スモール100μm
アパーチュア使用時
対物レンズ 5倍 100μm 50μm 20μm
対物レンズ 10倍 50μm 25μm 10μm
対物レンズ 15倍 33μm 17μm 7μm
対物レンズ 50倍 10μm 5μm 2μm
対物レンズ 100倍 5μm 2.5μm 1μm

※顕微鏡 その他の条件により異なります。

<膜厚測定事例>
  ・各種酸化膜
・化合物半導体
・有機膜
・透明膜
・反射防止膜
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