製品案内

検査・測定機 - 非接触膜厚測定機・段差計など

フォトリソグラフィ.comでは、スピンコーター(塗布機)からマスクアライナー(露光装置)、現像・エッチングの研究用ラボ機を取り扱っております。
また、測定として、膜厚測定、段差、線幅測定の各種測定機も取り扱っております。

非接触膜厚測定機 F20
F40
F50
  段差計・プロファイラー ET200
ET4000A

非接触膜厚測定機 F20

F-20   F-20
  F20-UV F20 F20-NIR F20-EXR
膜厚測定範囲 3nm~40μm 15nm~70μm 100nm~250μm 15nm~250μm
※Si基板上のSiO2膜を元に換算。
測定波長範囲 200~1100nm 380~1050nm 950~1700nm 380~1700nm
正確性
(Accuracy)
膜厚の0.4%もしくは以下の数値のいずれか大きい値
(1nm) (2nm) (3nm) (2nm)
※Si基板上のSiO2膜サンプルの場合、膜材料その他の条件で異なります。
測定精度
(Precision)
0.1nm 0.1nm 0.2nm 0.1nm
※Si基板上の500nm厚のSiO2サンプルを、100回連続測定時の平均値を20日に渡って行った結果の標準偏差
スポット径 付属ステージ(標準φ1.5mm、スモールスポットφ0.1mm)
検出器 1250素子 Siアレイ 920素子 Siアレイ 512素子 InGaAsアレイ 770素子 Siアレイ
512素子 InGaAsアレイ
光源 重水素
ハロゲンランプ
ハロゲンランプ
サンプルサイズ 最大φ100mm(標準ステージ使用時)
対応コンピューター Microsoft社 Windows8/USBポート
電源 AC100V 1A
本体寸法(mm) 210W×90H×230D(突起部は含みません)
オプション コンタクトプローブ
透過光測定オプション
φ12インチ対応手動回転ステージ

※仕様は予告なく変更することがございます。

<膜厚測定事例>
  ・各種酸化膜
・化合物半導体
・有機膜
・透明膜
・反射防止膜
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