電源はAC100V 20A マスク、基板固定用に真空が-0.08Mpa必要です。また、MA-10、MA-20、MA-60Fは顕微鏡、マスクステージ駆動に空圧0.5Mpa、N2ブローアップ用にN2 0.5Mpaが必要です。
マスクアライナー
マスクアライナーで必要になるユーティリティは何ですか？
火曜日, 6月 18th, 2019マスクアライナーの価格はいくらぐらいですか？
金曜日, 11月 14th, 2014お問い合わせください。
御社のマスクアライナーのデモは可能ですか？
金曜日, 11月 14th, 2014ＭＡ－２０、ＭＡ－６０Ｆはデモ機をご用意しております。
御社のマスクアライナーで対応出来る試料寸法は？
金曜日, 11月 14th, 2014機種により異なります。MA-10、MA-20（MAXφ4インチ）、MA-60F、M-2LF（MAXφ6インチ）、M-1S（MAXφ3インチ）
マスクアライナーで不定形基板を使用しますが対応可能でしょうか？
金曜日, 11月 14th, 2014対応可能です。
マスクアライナーで厚みのある基板を使用しますが対応可能でしょうか？
金曜日, 11月 14th, 2014５ｍｍ以上は改造が必要になります。
マスクアライナーでセラミック基板を使用しますが問題ありませんか？
金曜日, 11月 14th, 2014表面が鏡面でない為、同軸照明ではパターンが見えない場合があり、その場合、斜光照明のオプションが必要となります。
マスクサイズが何種類かありますが対応可能でしょうか？
金曜日, 11月 14th, 2014マスクサイズに応じてマスクホルダーの作製が必要になります。
どの様な方式の露光装置(マスクアライナー)ですか？
金曜日, 11月 14th, 2014コンタクト露光を採用しています。試料とマスクを密着させ１対１の露光方式です。
御社のマスクアライナーの主な波長は？
金曜日, 11月 14th, 2014主にブロードバンドの436nm(g線)、405nm(h線)、365nm(i線)です。
