マスクアライナー

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ＭＡ－２０、ＭＡ－６０Ｆはデモ機をご用意しております。

各機種の対応可能基板サイズ、厚みのMAXサイズは以下の通りです。

対応可能です。

５ｍｍ以上は改造が必要になります。

表面が鏡面でない為、同軸照明ではパターンが見えない場合があり、その場合、斜光照明のオプションが必要となります。

マスクサイズに応じてマスクホルダーの作製が必要になります。

コンタクト露光を採用しています。試料とマスクを密着させ１対１の露光方式です。

405㎚を中心に設計しております。ブロードバンドの436nm(g線)、405nm(h線)、365nm(i線)に強い波長スペクトルの分布を持っております。