技術資料 / FAQ

基板

基板の固定方法にはどのような方式がありますか。

基本は真空吸着方式です。吸着方法にも溝式と小穴式がございます。基板の形や厚み、膜厚などの情報を基にご提案をしております。メカニカルチャック方式も対応可能ですが、その場合バキュームインターロック機能が使用できなくなります。

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